De Malema CMFC-5000-serie is een hoogwaardige, geïntegreerde Coriolis-massastroomregelaar die is ontworpen voor nauwkeurige regeling in gesloten kringloop van zeer zuivere vloeistoffen, chemicaliën en CMP-slurries in halfgeleider- en geavanceerde procesapplicaties. Het systeem combineert een geavanceerde Coriolis-massastroommeter met een snelle precisie-regelklep om een uiterst nauwkeurige en herhaalbare stroomregeling te bieden, onafhankelijk van variaties in vloeistofdichtheid, viscositeit, temperatuur of stroomprofiel.

De CMFC-5000-serie beschikt over een volledig uit PFA/PTFE bestaand vloeistofpad zonder bewegende onderdelen of dynamische afdichtingen in de debietsensor, waardoor het risico op verontreiniging, het dode volume, de vorming van deeltjes en de onderhoudsbehoeften tot een minimum worden beperkt. Afhankelijk van de toepassing maakt de regelaar gebruik van een precisie-membraanafsluiter voor chemicaliën of een motorisch aangedreven knijpafsluiter voor slurrytoepassingen. Geavanceerde digitale signaalverwerking maakt een nauwkeurige werking mogelijk, zelfs bij meegevoerde gasbellen die meer dan 30% van het volume in beslag nemen.

De serie ondersteunt debietbereiken van ongeveer 50 tot 4000 gram per minuut met een regelnauwkeurigheid tot ±1,5% van het instelpunt en responstijden die doorgaans minder dan twee seconden bedragen. Beschikbare configuraties omvatten 1/4" en 3/8" flare- of pilaaraansluitingen met analoge regel- en bewakingsuitgangen voor integratie in halfgeleiderprocesapparatuur en industriële automatiseringssystemen.

Typische toepassingen zijn onder meer CMP-slurrytoevoer, chemische mengsystemen, natte reinigingsapparatuur, koperplateringssystemen, regeling van ultrapuur DI-water, halfgeleiderapparatuur voor natte processen en precisiesystemen voor het doseren van chemicaliën die een contaminatievrije, zeer nauwkeurige debietregeling vereisen.