De Malema CPFM-8800-serie is een ultrazuivere ultrasone debietmeter die is ontworpen voor nauwkeurige, niet-invasieve meting van agressieve chemicaliën en ultrazuivere vloeistoffen in halfgeleider- en geavanceerde procesapplicaties. De meter maakt gebruik van ultrasone ‘clamp-on’-sensortechnologie, waardoor direct contact tussen het sensorelement en de procesvloeistof wordt vermeden. Dit ontwerp minimaliseert het risico op verontreiniging, drukverlies, doodvolume en onderhoudsbehoeften, terwijl de zeer nauwkeurige debietmeting gewaarborgd blijft.

De CPFM-8800-serie is speciaal ontwikkeld voor natte processystemen in de halfgeleiderindustrie en toepassingen voor de toevoer van hoogzuivere chemicaliën, waarbij contaminatiebeheersing en chemische compatibiliteit van cruciaal belang zijn. Het systeem ondersteunt een breed scala aan fluorpolymeer slangmaterialen, waaronder PFA en PTFE, en biedt een hoge gevoeligheid bij zeer lage debieten, met uitstekende herhaalbaarheid en snelle responskenmerken. De geïntegreerde digitale elektronica ondersteunt analoge uitgangen, alarmen en industriële communicatie-interfaces voor integratie in procesautomatisering.

Typische toepassingen zijn onder meer de toevoer van CMP-slurry, chemische doseersystemen, monitoring van ultrazuiver DI-water, natte werkbanken voor halfgeleiders, filtratiemonitoring, chemische mengsystemen en systemen voor de verwerking van corrosieve vloeistoffen die een contaminatievrije, zeer nauwkeurige debietmeting vereisen.