De Malema LFC-7000-serie is een hoogwaardige ultrasone vloeistofstroomregelaar, ontworpen voor nauwkeurige regeling in gesloten kringloop van zeer zuivere vloeistoffen, agressieve chemicaliën, gedemineraliseerd water en CMP-polijstslurries in halfgeleider- en geavanceerde procesapplicaties. Het systeem combineert een ultrasone debietmeter met een geïntegreerde precisie-regelklep om een uiterst nauwkeurige, stabiele en herhaalbare stroomregeling te bieden, onafhankelijk van de dichtheid, viscositeit, temperatuur of meegevoerde gassen van de vloeistof.

De LFC-7000-serie beschikt over een volledig uit PFA/PTFE bestaand vloeistofpad zonder bewegende onderdelen of afdichtingen in de debietsensor, waardoor het risico op verontreiniging, de vorming van deeltjes, drukverlies en onderhoudsbehoeften tot een minimum worden beperkt. Afhankelijk van de toepassing is de regelaar uitgerust met een motorisch aangedreven knijpafsluiter voor slurrytoepassingen of een membraanafsluiter voor chemische doseertoepassingen. Geavanceerde DSP-signaalverwerkingstechnologie zorgt voor een stabiele werking, zelfs wanneer er luchtbellen in de procesvloeistof aanwezig zijn.

Typische prestaties omvatten een instelpuntnauwkeurigheid van ±1%, een herhaalbaarheid tot ±0,5%, een debietregelbereik van ongeveer 5 tot 12.000 mL/min en responstijden die doorgaans minder dan 3 seconden bedragen. De serie ondersteunt analoge en digitale communicatie-interfaces voor integratie in halfgeleiderprocesapparatuur en industriële automatiseringssystemen. Beschikbare configuraties omvatten 1/4", 3/8" en 1/2" flare- of pilaaraansluitingen met horizontale of verticale montageopties.

Typische toepassingen zijn onder meer CMP-slurrytoevoer, natte reinigingssystemen voor halfgeleiders, chemische mengsystemen, koperplateringssystemen, dosering van ultrazuivere chemicaliën, reinigingsapparatuur na CMP en procesinstallaties met hoge zuiverheidsgraad die een contaminatievrije, uiterst nauwkeurige vloeistofstroomregeling vereisen.