De Malema LFC-7650-serie is een uiterst nauwkeurige ultrasone vloeistofstroomregelaar, ontworpen voor nauwkeurige regeling in gesloten kringloop van zeer zuivere vloeistoffen, agressieve chemicaliën, CMP-slurries en ultrapuur DI-water in halfgeleider- en geavanceerde procesapplicaties. De regelaar combineert niet-invasieve ultrasone debietmeting met een geïntegreerde precisie-regelklep, waardoor een zeer stabiele en herhaalbare debietregeling mogelijk is zonder bewegende onderdelen in de debietsensor. Dit minimaliseert het risico op verontreiniging, drukverlies, de vorming van deeltjes en onderhoudsbehoeften in kritische systemen voor hoogzuivere vloeistoffen.

De LFC-7650-serie beschikt over een volledig uit PFA/PTFE bestaand vloeistofpad met uitstekende chemische compatibiliteit voor agressieve halfgeleiderproceschemicaliën en toepassingen met schurende slurries. Geavanceerde digitale signaalverwerkingstechnologie zorgt voor nauwkeurige debietregeling, zelfs onder uitdagende omstandigheden zoals meegevoerde luchtbellen of variërende vloeistofeigenschappen. Afhankelijk van de toepassing kan het systeem gebruikmaken van een membraanafsluiter of een motoraangedreven knijpafsluiter voor geoptimaliseerde prestaties bij de verwerking van chemicaliën of slurry.

Typische prestaties omvatten een hoge regelnauwkeurigheid, snelle reactietijd, uitstekende herhaalbaarheid en ondersteuning voor analoge en digitale communicatie-interfaces voor integratie in halfgeleiderautomatisering. De beschikbare configuraties ondersteunen meerdere debietbereiken en zeer zuivere ‘flare’- of ‘pillar’-procesaansluitingen voor flexibele installatie in apparatuur voor natte processen.

Typische toepassingen zijn onder meer de toevoer van CMP-slurry, natte reinigingssystemen voor halfgeleiders, koperplateringssystemen, chemische mengsystemen, doseersystemen voor ultrazuivere chemicaliën, reinigingsapparatuur voor na CMP en geavanceerde processystemen die een contaminatievrije, uiterst nauwkeurige regeling van de vloeistofstroom vereisen.